Та мишень для распыления

Процесс производства мишеней для распыления металлического тантала Yusheng
Целевые продукты танталового распыления Yusheng Metal перерабатываются из танталовых слитков с использованием процессов электронной бомбардировки, прокатки и отжига. Мишени, изготовленные с помощью этого процесса, имеют однородную кристаллическую структуру, текстуру и распределение энергии, а также хорошую внутреннюю структуру.

В последние годы масштабы индустрии ИС (интегральных схем) продолжали расширяться, а технология изготовления микросхем также развивалась в направлении высокой плотности. Тантал часто используется в качестве материала напыляемого покрытия для слоя диффузионного барьера в процессе соединения меди из-за его высокой химической стабильности. Однородная микроструктура танталовых мишеней для распыления оказывает непосредственное влияние на эффективность распыления.

Tantalum targets require fine and uniform grains, randomly dispersed grain orientation, and excellent film manufacturing performance. However, due to the properties of tantalum, a microstructure can easily form during cold working with a core orientation of 111 (111>/ND) and a surface orientation of 100 (100>/НД). При изготовлении тонких пленок скорость распыления меняется в зависимости от толщины мишени, что влияет на стабильность процесса распыления.

Принцип распыления мишени Ta

Тантал часто используется в производстве электролитических конденсаторов из-за его способности образовывать тонкие оксиды и защитного характера оксидного слоя. Испарение использовалось на ранних стадиях осаждения тантала, но когда в конце 1960-х годов методы физического осаждения из паровой фазы, такие как напыление покрытия, стали превосходными методами осаждения тонких пленок, они заменили испарение.

В процессе физического осаждения из паровой фазы ионизированные атомы аргона используют электромагнитную механику для воздействия на мишень, сбивая атомы металлической мишени, а атомы металлической мишени осаждаются на подложку, образуя тонкую пленку.

мишень для распыления тантала

танталовая мишень

Оборудование для производства металла Yusheng

Yusheng Metal имеет полный набор систем научных исследований, производства, испытаний, продаж и обслуживания от выплавки, ковки, горячей прокатки, холодной прокатки, отделки до готовых материалов. Он оснащен электронной печью восточной бомбардировки мощностью 350 кВт, гидравлическим прессом мощностью 2000 тонн, вакуумной печью для отжига диаметром 1700 мм, а также одной машиной точной ковки мощностью 42 кВт и двумя машинами прецизионной ковки мощностью 15 кВт, 14 станами для чистовой обработки полосы, LDD120, LDD-40, LDD{{8} }, LDD-8 двухлинейный трубопрокатный стан, 2-заготовительный стан 500T, 4 стана холодной прокатки, 6 станов холодной прокатки, машина для двустороннего волочения проволоки мощностью 15 кВт, цилиндрический шлифовальный станок, машина для очистки, плоскошлифовальный станок и ряд оборудования.

Применение танталовой мишени для распыления

Мишень для распыления тантала изготовлена ​​из листов тантала, обработанных под давлением, и имеет характеристики высокой чистоты, мелкозернистости, хорошей рекристаллизационной структуры и хорошей трехосной консистенции.
Танталовые мишени для распыления широко используются в оптоэлектронной и полупроводниковой промышленности. Они в основном используются для напыления катодных покрытий, активных материалов в высоком вакууме, оптических волокон, полупроводниковых пластин, интегральных схем и т. д. Они являются важной частью технологии тонких пленок.

 

Компания Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd.является мировым поставщиком деталей для обработки редкого золота, тантала, ниобия, ванадия, циркония и гафния. В основном он производит проволоку, стержни, пластины, трубки, кольца, тигли и т. д., а также другие нестандартные детали специальной обработки. Мы будем регулярно публиковать информацию, связанную с продуктами и материалами нашей компании, охватывающую всю цепочку исследований и разработок в области технологий материалов, индустриализацию материальных достижений, применение и продвижение материальных продуктов, агломерацию промышленности материалов и экологию промышленности материалов. Вы можете связаться с нами в любое время.

 

 

Связаться с нами

Менеджер по продажам:

Контактное лицо: Ли Фэнву

Email: kd@tantalumysjs.com

Тел: 13379388917

Факс: 0917-3139100

Почтовый индекс: 721013

Интернет:https://www.tantalumysjs.com/

Добавить: Промышленная зона деревни Вэньцюань, зона развития Гаосинь, город Баоцзи, провинция Шэньси, Китай.

 

 

 

горячая этикетка : та мишень для распыления, поставщики, производители, фабрика, по индивидуальному заказу, купить, цена, предложение, качество, продажа, в наличии