Мишень для распыления тантала высокой чистоты

In recent years, with the rapid development of the electronic information industry, sputtering targets for integrated circuits have also been greatly developed. Among the metal targets used to manufacture semiconductor chips, common sputtering targets are non-ferrous metals such as Ta Ti Al Co and Cu. Among them, the largest amount of metal sputtering targets for integrated circuit manufacturing is ultra-high purity aluminum (>99,999 процентов) и мишени из алюминиевого сплава сверхвысокой чистоты, а мишень из титана сверхвысокой чистоты, используемая для напыления барьерного слоя, представляет собой мишень из титана сверхвысокой чистоты. В БИС электромиграция металлических межсоединений является одним из основных механизмов отказа. При высокой плотности тока алюминиевый провод подвержен электромиграции, в результате чего в алюминиевой межблочной пленке образуются выступы и пустоты, что снижает эффективность работы и надежность интегральных схем. Удельное сопротивление Cu примерно на 35 процентов ниже, чем у Al, и устойчивость к электромиграции также высока; А с масштабным развитием интегральных схем степень интеграции становится все выше и выше, и выдвигаются более высокие технические требования к изготовлению мишеней для напыления промежуточных и барьерных слоев, в глубоком субмикронном процессе (меньше или равно 018um), медь постепенно заменит алюминий в качестве материала для металлизированной проводки на кремниевых пластинах, можно будет больше использовать медные мишени сверхвысокой чистоты, а соответствующее напыление охватываемого барьера представляет собой мишень из тантала высокой чистоты.

С увеличением количества высокочистой танталовой мишени в качестве материала покрытия, препятствующего распылению, требования к характеристикам мишени также становятся все выше и выше, например, чем больше и больше размер мишени для распыления, тем тоньше и однороднее микроструктура и т. д. Поэтому исследования процесса подготовки мишеней для распыления постепенно привлекают внимание. В настоящее время процесс подготовки мишени для распыления тантала высокой чистоты в основном включает метод плавки и литья и метод порошковой металлургии:

1. Приготовление высокочистой мишени для распыления методом плавки и литья.

Метод плавки и литья в настоящее время является основным методом изготовления мишеней для распыления тантала, как правило, танталовое сырье выплавляют (электронно-лучевой или дуговой, плазменной плавкой и т. д.) ковкой, а полученные слитки или заготовки подвергают многократной горячей ковке, отжигу, а затем прокатывали, отжигали и доводили до мишени. Слитки или заготовки подвергают горячей ковке, чтобы разрушить структуру отливки, чтобы поры или ликвации диффундировали, исчезли, а затем их рекристаллизовали отжигом, тем самым улучшая уплотнение и прочность ткани.

Чтобы гарантировать, что мишень может распылять высококачественные пленки, обычно предъявляются высокие требования к мишеням для распыления тантала, и чем выше чистота материала мишени, тем лучше качество пленки.

2. Получение мишени для распыления тантала высокой чистоты методом порошковой металлургии.

Методы изготовления мишеней из тантала высокой чистоты методом порошковой металлургии в основном включают горячее прессование, горячее изостатическое прессование, холодное изостатическое вакуумное спекание и т. д. В настоящее время более распространенным методом порошковой металлургии для подготовки мишеней для распыления тантала является метод горячего прессования и горячего изостатического прессования. , путем азотирования поверхности металлического порошка можно получить порошок тантала с содержанием кислорода ниже 300 мг / кг и содержанием азота ниже 10 мг / кг, а затем загрузить в форму, а затем холодное формование и горячее изостатическое прессование или другое методы спекания, чистота 99,95% или более, средний размер зерна менее 50 мкм или даже 10 мкм, текстура случайная, танталовая мишень однородная по текстуре по поверхности и толщине мишени.

горячая этикетка : мишень для распыления тантала высокой чистоты, поставщики, производители, фабрика, заказ, купить, цена, предложение, качество, продажа, в наличии