Мишени из оксида ниобия

В настоящее время для подготовки мишеней из оксида ниобия в основном используется процесс спекания при горячем прессовании, но обычно возникают недостатки, заключающиеся в плохой компактности и проводимости, что затрудняет выполнение требований магнетронного распыления постоянного тока для целевых материалов. Кроме того, процесс спекания горячим прессованием имеет длительное время спекания, высокое потребление энергии и высокую стоимость. Исходя из этого, необходимо обеспечить мишень из оксида ниниобия с низким потреблением энергии, низкой стоимостью, хорошей компактностью и проводимостью, а также способ ее получения.

Включены следующие шаги:

Порошок пятиокиси ниобия и порошок ниобия равномерно смешивали и прокаливали при 600~800 градусов в течение 0,5~3 ч в атмосфере кислорода или воздуха для получения предварительно обработанного порошка;

Порошок спекают в графитовой форме при температуре 900~1200 градусов в атмосфере защитного газа в течение 0,5~1 часа для получения мишени из оксида ниобия.

Способ приготовления вышеуказанных мишеней из оксида ниобия после того, как порошок пятиокиси ниобия и порошок ниобия равномерно смешаны, проводится окислительная обработка прокаливанием, и поверхность порошка ниобия окисляется с образованием барьера из активированной оксидной пленки, так что для диспергирования порошка пятиокиси ниобия избегайте явления агломерации, вызванного локальным спеканием порошка пятиокиси ниобия, а полученный предварительно обработанный порошок не агломерирован, несвязан, имеет хорошую текучесть и концентрированное распределение частиц по размерам. Среди них порошок пятиокиси ниобия имеет высокую удельную поверхность и высокую активность, а размер его частиц мал, что, в свою очередь, снижает температуру спекания при горячем прессовании и сокращает время спекания при горячем прессовании, тем самым снижая потребление энергии и стоимость спекания в горячем прессе, сокращение производственного цикла и эффективное улучшение степени уплотнения мишени из оксида ниобия, полученной спеканием в горячем прессе.

Химическая формула мишени из оксида ниобия, полученной описанным выше способом получения: Nb2Ox, 4.0 Меньше или равно x Меньше или равно 4,9, мишень имеет высокую плотность, низкую пористость и плоскую поверхность без косточек, а его плотность достигает 4,57 г/см3. Его проводимость высока, а удельное сопротивление составляет 2×10-3~8×10-3Ом·см. Среди них относительная плотность относится к отношению плотности, измеренной детектором плотности твердого тела методом дренажа Архимеда, к теоретической плотности, а величина относительной плотности указывает на степень уплотнения материала, и чем больше относительная плотность, тем выше степень уплотнения материала.

горячая этикетка : мишени из оксида ниобия, поставщики, производители, фабрика, индивидуальные, купить, цена, предложение, качество, продажа, в наличии