Области применения танталовых мишенных материалов

В основном используемый в физическом осаждении из паровой фазы и других процессах, во время процесса распыления атомы на поверхности танталовой мишени бомбардируются и осаждаются в виде тонкой пленки на подложке для получения желаемого тонкопленочного материала.
Температура плавления тантала достигает 2996 градусов, что позволяет танталовым мишеням сохранять хорошую структурную стабильность в условиях высокотемпературного распыления и нелегко деформироваться или испаряться. Плотность обычно превышает 16,6 г/см³, что позволяет уменьшить проблемы с растрескиванием или деформацией во время напыления, одновременно уменьшая разбрызгивание частиц и улучшая качество пленки. При температуре распыления он не летуч, что обеспечивает минимальные потери целевого материала в процессе распыления и обеспечивает стабильные атомы тантала для осаждения тонких пленок.
Химические свойства тантала очень стабильны, он почти не реагирует с другими кислотами, кроме плавиковой кислоты и горячей концентрированной серной кислоты. Его также можно использовать в течение длительного времени в агрессивных химических средах, а изготовленная из него танталовая пленка также обладает хорошей коррозионной стойкостью. Поверхность тантала склонна образовывать плотную и стабильную пассивирующую пленку из оксида тантала, которая может эффективно предотвратить дальнейшую окислительную коррозию и увеличить срок службы материала.
Область применения
При производстве интегральных схем танталовые мишенные материалы используются для подготовки слоев диффузионного барьера, предотвращения диффузии медных межсоединений в кремниевые подложки, повышения надежности и производительности устройств, а также могут использоваться в качестве материалов затворов или части металлических затворов для МОП-транзисторов, а также электродов конденсаторов в устройствах памяти с высокой-плотностью памяти, таких как DRAM.
При производстве жидкокристаллических дисплеев (ЖК-дисплеев) и органических светодиодов-излучающих диодов (OLED) танталовые мишени используются для подготовки электродов и слоев проводки тонкопленочных транзисторов (TFT). Их стабильность и проводимость помогают улучшить качество отображения. Кроме того, их также можно использовать в качестве тонких пленочных герметизирующих слоев в органических светодиодах для продления срока службы устройства.
Танталовые пленки высокой-чистоты, используемые для изготовления оптических пленок, таких как антибликовые покрытия или фильтры, имеют одинаковый показатель преломления и хорошую долговечность и подходят для прецизионных оптических инструментов, таких как объективы фотоаппаратов и лазерные устройства. В химической, нефтяной, морской и других средах анти-коррозионные покрытия, изготовленные из танталовых целевых материалов, могут эффективно защитить оборудование, трубопроводы и контейнеры от коррозии.