Мишень для распыления вольфрама

Металлический вольфрам высокой чистоты, используемый для изготовления мишеней для распыления вольфрама, обычно является хрупким и сложным в работе. Вольфрам может сохранять свою твердость (которая выше, чем у многих сталей) и обладает достаточной пластичностью, чтобы его было легко обрабатывать, если он превращается в очень чистый материал. Он проходит через процессы ковки, растяжения или экструзии. Как правило, спекание также используется для создания изделий из вольфрама.

Вольфрам имеет самую высокую прочность на растяжение, самое низкое давление паров (при температурах, превышающих 1650 градусов, 3000 градусов по Фаренгейту) и самую высокую температуру плавления среди всех металлов в чистом виде (3422 градусов, 6192 градусов по Фаренгейту). Из всех чистых металлов вольфрам имеет наименьший коэффициент теплового расширения. Прочные ковалентные связи, создаваемые 5d-электронами между атомами вольфрама, придают вольфраму низкое тепловое расширение, высокую температуру плавления и большую прочность на растяжение. Сталь становится значительно более прочной, когда к ней примешивается вольфрам в небольших количествах.

Производство мишеней для распыления вольфрама различных форм и чистоты является специализацией Yusheng Metal, которая в основном используется в полупроводниковой и микроэлектронике. Благодаря самой высокой температуре плавления среди всех металлов слои вольфрама, которые входят в состав тонкопленочных транзисторов, используемых в экранах TFT-LCD, невероятно стабильны в условиях высоких температур. Наши мишени имеют более высокую плотность, меньший средний размер частиц и более высокую чистоту благодаря нашим уникальным методам формования, что позволяет вам воспользоваться более быстрым процессом благодаря более высокой скорости распыления и получить очень однородные вольфрамовые слои.

Наша гибкая технология производства позволяет нам модифицировать микроструктуру для получения требуемого результата. Пользователь может извлечь выгоду из постоянной скорости эрозии и однородных слоев, если зерна мишени для распыления выровнены равномерно. 100 м - типичный размер зерна.

Металлическая мишень для распыления должна иметь превосходную химическую чистоту, потому что это приведет к получению пленок с большей электропроводностью и уменьшению образования частиц в процессе PVD. Типовой сертификат анализа для вольфрамовой мишени 3N5 представлен ниже.

Аналитические методы:

1. GDMS и ICP-OES использовались для исследования металлических элементов.
2. ЛЕКО исследовал компоненты газа.

Подготовка материала, спекание и химический анализ являются этапами подготовки мишени для распыления вольфрама. Прокатка, анализ, металлографический контроль, изготовление, трехмерный контроль, очистка, окончательная проверка, упаковка и отгрузка.

Вольфрамовая мишень для распыления и способ ее изготовления
Чистота более 99,95 процентов, 2,2–2,6 мм, холодное изостатическое прессование в течение 5–10 минут, 2300–2400 градусов, 8–12 часов индукционного спекания средней частоты и смесь порошка вольфрама 1450–1500 градусов. Его подвергают горячекатаной прокатке на толщину 5–15 мм многократными проходами с общей деформацией более 60 процентов с последующим отжигом при 1550° в течение 90–180 минут. После периода отжига от 90 до 150 минут при температуре от 1300 до 1400 градусов выполняется механическая обработка. Конечный материал вольфрамовой мишени не только обладает хорошими характеристиками, но также достаточно прост в обработке и не требует дорогостоящего оборудования. Количество механической обработки на поверхности составляет около 1,5 мм.

Доступны другие сплавы вольфрамовых мишеней.
Мишени из вольфрам-титана, вольфрам-титанового сплава, вольфрам-медь, вольфрам-марганец, вольфрам-никель и др.

горячая этикетка : вольфрамовая мишень для распыления, поставщики, производители, фабрика, заказ, купить, цена, предложение, качество, продажа, в наличии