1. Отрежьте слиток ванадия требуемой чистоты в соответствии с заданным размером с помощью горизонтальной пилы, предварительно нагрейте до 450-500 градусов, затем выполните ковку и контролируйте общую скорость деформации поковки до 70-80%;
2. Отожгите кованый слиток ванадия при температуре 400-500 градусов и времени выдержки 60-120 мин, а затем охладите его воздушным охлаждением;
3. Прокатайте отожженный слиток ванадия и контролируйте величину прессования каждого прохода до 0,5-1 мм, а общую деформацию контролируйте до 70-80 %, пока целевая ванадиевая заготовка не будет получен необходимый диаметр и толщина;
4. Снова отожгите прокатанную заготовку из ванадия при температуре 450-550 градусов и времени выдержки 90-150 мин. После повторного отжига охлаждают ее водой для получения требуемой заготовки ванадиевой мишени высокой чистоты.
Заготовка ванадиевой мишени, приготовленная таким образом, не только имеет однородную внутреннюю структуру, но также имеет преимущество мелкозернистости.
Целевой материал должен иметь высокую чистоту, меньше примесей, однородный химический состав, отсутствие сегрегации, отсутствие пор, однородную структуру зерен и размер зерен от микрометра до миллиметра. Разница в размерах зерен в одной мишени распыления должна быть как можно меньше. Таким образом, при магнетронном распылении нелегко создать явление разряда, и пленка магнетронного распыления является однородной.
Применение ванадиевой мишени
Используется в области солнечной энергии, плоских дисплеев, электроники и полупроводников, таких как интегральные схемы, металлизация объединительной платы, оптоэлектроника и других приложениях.
