В последние годы полупроводниковая технология быстро развивалась, и спрос на тантал, используемый в качестве напыленной пленки, постепенно увеличивался. В интегральных схемах тантал помещают между кремниевыми и медными проводниками в качестве диффузионного барьера. Методы производствараспыление танталовых мишенейвключают металлургию слитков (I/M) и порошковую металлургию (P/M). Танталовые мишени с более низкими требованиями обычно изготавливаются из танталовых слитков. Однако в некоторых случаях с более высокими требованиями метод I/M не может быть использован, и для его производства можно использовать только метод порошковой металлургии. Например, метод I/M не может производить мишени из сплава из-за разных температур плавления тантала и кремния, а также из-за низкой ударной вязкости соединений кремния.
В пленке не должны присутствовать вещества, загрязняющие полупроводниковый прибор. Когда образуется пленка для распыления, если в мишени из тантала (сплава, соединения) есть примеси, примеси будут попадать в камеру для распыления, вызывая прилипание крупных частиц к подложке и короткое замыкание тонкопленочной цепи. В то же время примеси также могут быть причиной увеличения количества выступающих частиц в тонкой пленке. Примесные газы, такие как кислород, углерод, водород и азот, в мишени вызовут аномальные явления и вызовут проблемы с однородностью формируемой пленки. Кроме того, для метода порошковой металлургии однородность осажденной пленки зависит от размера зерна в мишени, и чем мельче зерно в мишени, тем однороднее получается пленка. Поэтому в данной области техники существует потребность в высококачественных танталовых порошках и танталовых мишенях. Поэтому для получения качественного танталового порошка и танталовой мишени необходимо снизить содержание примесей в танталовом порошке и повысить чистоту танталового порошка.
Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. может производитьтанталовые порошкиразличного размера частиц. Стремясь обеспечить высокое качество, наша компания предлагает полный ассортимент металлических порошков тантала, которые могут удовлетворить потребности различных клиентов в области исследований и разработок, испытаний, производства, потребления и т. д.
