Я считаю, что каждый имеет некоторые знания о целях нанесения покрытий. Он проходит через систему покрытий. Теперь мы понимаем, что мишени с твердым покрытием. Заключительный этап подводится для всех редактором.
Разработка состава мишени, трансформация кристаллической структуры мишени, подготовка мишени, улучшение процесса и оптимизация поведения мишени при распылении — вот четыре ключевые области, представляющие интерес для исследований мишеней для покрытия твердых покрытий. Сегодня мы сосредоточимся на оптимизации поведения мишени при распылении. заключительный этап процесса нанесения твердого покрытия.
Использование мишени в процессе нанесения покрытия должно быть единственным направлением исследования мишени. Мишень находится в вакуумной камере на протяжении всего процесса подготовки покрытия с очень сложным состоянием плазмы, вызывающим эрозию металла мишени. Плазма влияет на траекторию атома. Чтобы поддерживать мишень в стабильном и хорошем состоянии во время строительства, крайне важно оптимизировать процесс нанесения покрытия. Скорость эрозии мишени и потери распыляемых атомов во время движения распыляемых атомов. к подложке в процессе магнетронного распыления покрытия мишени из сплава.
Наибольшее влияние на эффективность распыления мишени оказывают плотность ионного тока и взрывная мишень. Угловая потеря и потеря рассеяния являются двумя основными типами энергии ионов, потерями атомов распыления. Плотность и энергия частиц, атакующих цель, можно изменить, изменив целевой ток. Отравление цели можно сделать более эффективным, регулируя парциальное давление азота. Скорость, с которой атомы металла движутся к подложке, можно эффективно контролировать, регулируя смещение подложки. Чтобы подготовить покрытие более высокого качества, целевой материал можно сделать так, чтобы он лучше соответствовал среде вакуумной камеры для нанесения покрытия, регулируя параметры процесса.
Мы можем извлечь выгоду из того факта, что быстрый рост электронной промышленности привел к значительному прогрессу в ряде смежных отраслей. Развитие науки и техники идет в ногу со временем. Объективы с твердым покрытием, наряду с нами, являются одними из главных победителей.
