Внутренняя структура вольфрамовой мишени, созданная с помощью современной технологии порошковой металлургии, в настоящее время не отвечает растущим требованиям процесса распыления к однородности и размеру зерна. В следующем разделе описывается новая технология производства вольфрамовых мишеней.
1. Выдать вольфрамовый порошок с удельной поверхностью больше или равной 1,1 мВг;
2. Вакуумно запечатайте вольфрамовый порошок внутри резиновой оболочки толщиной от 3 до 5 миллиметров или алюминиевой оболочки толщиной от 2,5 до 3,0 миллиметров;
3. Резиновая оболочка или алюминиевая оболочка помещается в печь холодного изостатического прессования, где вольфрамовый порошок сначала уплотняется с помощью процедуры холодного изостатического прессования для создания первой уплотненной резиновой или алюминиевой оболочки. Для вольфрамовой целевой заготовки температура холодного изостатического прессования равна комнатной температуре, давление холодного изостатического прессования превышает или равно 150 МПа, а давление холодного изостатического прессования поддерживается в течение от одного до десяти часов;
4. Резиновая или алюминиевая оболочка удаляется после первой обработки по уплотнению, а затем первая заготовка вольфрамовой мишени подвергается второй обработке по уплотнению с использованием метода индукционного спекания для создания второй заготовки вольфрамовой мишени. Индукционное спекание. Процедуру проводят в индукционной печи для спекания, которую нагревают со скоростью от 3 град/мин до 10 град/мин при вакуумировании до вакуума, меньшего или равного 10-1Па;
5. И держите его там от 15 до 20 часов во время индукционного спекания;
6. Чтобы создать вольфрамовую мишень, вторую заготовку вольфрамовой мишени подвергают третьей обработке по уплотнению путем горячего изостатического прессования после второй обработки по уплотнению.
Для выполнения вышеупомянутого процесса горячего изостатического прессования используется печь горячего изостатического прессования. Печь горячего изостатического прессования подвергается вакуумной обработке до тех пор, пока степень вакуума не станет меньше или равна 100 Па, а затем устанавливается определенная температура. Скорость нагрева печи горячего изостатического прессования регулируется от 3 до 10 градусов в минуту, а температура горячего изостатического прессования колеблется от 1700 до 1900 градусов. Температуру и давление горячего изостатического прессования поддерживают в течение 2-5 часов, а давление горячего изостатического прессования превышает или эквивалентно 180 МПа.
