Apr 26, 2023 Оставить сообщение

Метод магнетронного распыления и целевое применение.

1. Использование магнетрона для распыления
Существует три типа магнетронного распыления: радиочастотное, промежуточно-частотное и распыление постоянным током.
А. Плотность осаждаемой пленки низкая, а источник питания постоянного тока для распыления недорогой. Обычно в бытовых фототермических и тонкопленочных батареях предпочитают использовать этот метод, поскольку он требует мало энергии и в качестве мишени для распыления используется проводящий металл.
Б. Энергия ВЧ распыления достаточно высока. В качестве мишени для распыления можно использовать проводящую мишень или непроводящую мишень.
C. В качестве мишени для среднечастотного распыления можно использовать металлическую или керамическую мишень.

2. Классификация и использование мишеней распыления.
Мишени для распыления бывают самых разных форм и размеров, и не все они классифицируются одинаково. Их можно разделить на длинные мишени, квадратные мишени и круглые мишени в зависимости от формы, а также на металлические мишени, мишени из сплавов и мишени из керамических соединений в зависимости от состава. Его можно разделить на керамические мишени, связанные с полупроводниками, керамические мишени для носителей записи, керамические мишени для дисплеев и т. д. в зависимости от различных областей применения. Электроника и информационные сектора, включая хранение информации, являются основными пользователями мишеней для распыления. Жесткие диски, магнитные головки, оптические диски и другие сопутствующие тонкопленочные продукты создаются в этом бизнесе с использованием мишеней для распыления.

В настоящее время на рынке керамических мишеней для носителей записи наблюдается рост спроса из-за продолжающегося роста информационной индустрии, а исследования и разработки мишеней для записи в настоящее время привлекают большое внимание средств массовой информации.

Отправить запрос

Главная

Телефон

Отправить по электронной почте

Запрос